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平面度的(de)基本概念

 

 

  

   "平面度" 英文對照   flatness; planeness;   "平面度" 在學術文獻中的解釋   平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區域。平面度屬于形位誤差中的形狀誤差。   對于Φ10mm大小的寶石基片上有零點幾個微米的不平度。   與"平面度" 相關的學術圖片   圖為傳統平臺平面度檢測原理示意圖

平面度測量

平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。   平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較,兩者之間的線值距離即為平面度誤差值;或通過測量實際表面上若干點的相對高度差,再換算以線值表示的平面度誤差值。   平面度誤差測量的常用方法有如下幾種:

  1、平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面,如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。   平面是由直線組成的,因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時,先測出若干截面的直線度,再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。  

  2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上,以標準平板作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法:三點法是用被測實際表面上相距遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面,實測時先將被測實際表面上相距遠的三點調整到與標準平板等高;對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然后用測微計進行測量,測微計在整個實際表面上測得的Max變動量即為該實際表面的平面度誤差。  

  3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 “連通罐”內的液面構成,然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。

  4、光束平面法:光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量,選擇實際表面上相距遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

  5、激光平面度(du)(du)測量儀:激光平面度(du)(du)測量儀用于(yu)測量大(da)型(xing)平面的平面度(du)(du)誤差 ,我公司提(ti)供2種精度(du)(du)高的平面度(du)(du)測量儀。

 

  

 

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